Theo mục đích
Cảm biến - nhạy và lực - nhạy cảm, cảm biến vị trí, cảm biến mức chất lỏng, cảm biến tiêu thụ năng lượng, cảm biến tốc độ, cảm biến gia tốc, cảm biến bức xạ tia, cảm biến nhiệt.
theo nguyên tắc
Cảm biến rung, cảm biến độ ẩm, cảm biến từ trường, cảm biến khí, cảm biến chân không, cảm biến sinh học, v.v.
Bằng tín hiệu đầu ra
Cảm biến tương tự: Chuyển đổi đại lượng điện không - đo được thành tín hiệu điện tương tự.
Cảm biến kỹ thuật số: Chuyển đổi đại lượng điện không - đo được thành tín hiệu đầu ra kỹ thuật số (bao gồm cả chuyển đổi trực tiếp và gián tiếp).
Cảm biến kỹ thuật số giả -: chuyển đổi đại lượng tín hiệu đo được thành tín hiệu tần số hoặc đầu ra tín hiệu chu kỳ - ngắn (bao gồm cả chuyển đổi trực tiếp hoặc gián tiếp).
Cảm biến chuyển đổi: Khi tín hiệu đo đạt đến một ngưỡng nhất định, cảm biến sẽ xuất ra tín hiệu mức - mức thấp hoặc mức - cao đã đặt tương ứng.
Theo quy trình sản xuất của nó
Cảm biến (Hình 3)
Cảm biến (Hình 3)
Cảm biến tích hợp được chế tạo bằng công nghệ quy trình tiêu chuẩn để sản xuất mạch tích hợp bán dẫn - dựa trên silicon. Thông thường một phần của mạch xử lý sơ bộ tín hiệu cần kiểm tra cũng được tích hợp trên cùng một con chip.
Cảm biến màng mỏng được hình thành bằng cách lắng đọng một màng mỏng của vật liệu nhạy cảm tương ứng trên chất điện môi (chất nền). Khi sử dụng quy trình lai, các bộ phận của mạch cũng có thể được chế tạo trên chất nền này.
Cảm biến màng dày được chế tạo bằng cách phủ bùn của vật liệu tương ứng lên nền gốm, thường được làm bằng Al2O3, và sau đó được xử lý nhiệt - để tạo thành màng dày.
Cảm biến gốm được sản xuất bằng quy trình gốm tiêu chuẩn hoặc một trong các biến thể của nó (sol, gel, v.v.).
Sau các hoạt động chuẩn bị thích hợp, phần tử hình thành được thiêu kết ở nhiệt độ cao. Có nhiều đặc điểm chung giữa hai quá trình, màng - dày và cảm biến gốm, và về một số khía cạnh, quá trình màng - dày có thể được coi là một biến thể của quá trình gốm.
Mỗi quy trình công nghệ có những ưu và nhược điểm riêng. Do yêu cầu đầu tư vốn cho nghiên cứu phát triển và sản xuất thấp cũng như tính ổn định của các thông số cảm biến nên việc sử dụng cảm biến gốm và màng dày là hợp lý.
Bằng cách đo lường
Cảm biến vật lý được thực hiện bằng cách sử dụng các đặc tính của các đặc tính vật lý nhất định của các chất được đo để thay đổi đáng kể.
Cảm biến hóa học được làm bằng các yếu tố nhạy cảm có thể chuyển đổi các đại lượng hóa học như thành phần và nồng độ của các chất hóa học thành các đại lượng điện.
Cảm biến - sinh học là cảm biến sử dụng các đặc tính của các sinh vật hoặc chất sinh học khác nhau để phát hiện và xác định các thành phần hóa học trong sinh vật.
theo thành phần của nó
Cảm biến cơ bản: Nó là thiết bị chuyển đổi đơn cơ bản nhất.
Cảm biến kết hợp: Là cảm biến bao gồm sự kết hợp của các thiết bị chuyển đổi đơn lẻ khác nhau.
Cảm biến ứng dụng: Là cảm biến bao gồm cảm biến cơ bản hoặc cảm biến kết hợp và các cơ chế khác.
Bằng hình thức hành động
Theo hình thức hoạt động, nó có thể được chia thành cảm biến chủ động và thụ động.
Cảm biến chủ động có loại hành động và loại phản ứng. Loại cảm biến này có thể gửi một tín hiệu phát hiện nhất định đến đối tượng được đo, có thể phát hiện sự thay đổi của tín hiệu phát hiện trong đối tượng được đo hoặc tạo ra một số loại tín hiệu phát hiện trong đối tượng được đo. hiệu ứng để tạo thành một tín hiệu. Chế độ phát hiện sự thay đổi của tín hiệu phát hiện được gọi là kiểu hành động, và chế độ phát hiện phản ứng và hình thành tín hiệu được gọi là kiểu phản ứng. Radar và máy dò dải tần số vô tuyến là những ví dụ tích cực, trong khi máy phân tích hiệu ứng quang âm và máy phân tích laser là những ví dụ phản ứng.
Cảm biến thụ động chỉ nhận tín hiệu do chính đối tượng đo tạo ra, chẳng hạn như nhiệt kế bức xạ hồng ngoại, camera hồng ngoại, v.v.
